所属机构 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所属平台 中科院苏州纳米所纳米加工平台
服务详情
应用行业服务领域:专业技术服务业 规格型号:定做 生产厂商:北京优科广智科技有限公司 仪器价值:20万元 放置地址:苏州纳米所 收费标准:230元/小时+160元/次工艺+37.5元/100nm(Au, AuSe)或50元/1000nm 技术指标及功能 蒸镀In、Ag等材料。In单次加工一个4英寸样品,尺寸向下兼容!Ag单次加工3个2英寸样品,尺寸向下兼容! In蒸发最大电流200A。3um厚度起,最大单次工艺10um。 Ag蒸发最大电流150A。1um厚度起,最大单次工艺3um。 3小时起预约。